半真半假。但“崑崙”项目的成功给了他说这话的底气。
老所长盯著他看了几秒,点点头:“继续讲。”
王恪鬆了口气,继续往下讲。他故意在某些关键点留了“破绽”,等专家们提问,再“恍然大悟”地补充。这样既分享了知识,又不会显得太超前。
讲到下午五点,会议结束。专家们围上来,七嘴八舌:
“小王,那个工件台交换机构,你能不能再画详细点?”
“照明系统的均匀性补偿算法,有具体实现方案吗?”
“这些设计,你验证过吗?”
王恪一一回答:“详细设计图我会整理出来发给大家。算法有初步的仿真结果,但需要实际验证。至於设计本身……还没有实物验证,所以需要各位老师把关。”
老所长最后走过来,拍拍他的肩:“小王,你搞的这个,比所里现在做的课题超前五年。但理论很扎实,思路很清晰。如果你真想做,我支持你。”
“谢谢陈老。”王恪说,“但我需要更多支持。”
“什么支持?”
“成立一个联合研究团队,集中全国最好的力量。资金我来想办法,但需要政策支持,需要各单位放人。”
老所长沉思了一会儿:“我帮你协调。但你要有心理准备:光刻机是硬骨头,可能要啃十年、二十年,还不一定有结果。”
“我知道。”王恪说,“但总要有人啃。现在不啃,下一代人还要啃。我们这代人啃了,下一代人就能少吃点苦。”
老所长看著他,忽然笑了:“你这年轻人……有意思。行,我帮你。”
两个月后,“先进光刻技术联合研究院”在北京掛牌成立。
名义上掛靠在中科院,实际是独立运作。王恪任院长,老所长任首席科学家。研究院下设五个研究室:双工件台研究室、照明系统研究室、物镜系统研究室、控制系统研究室、集成测试研究室。
人员从全国各地抽调:长春光机所来了十二个人,上海光机所来了八个人,清华、北大、哈工大来了六个教授和十五个研究生,军工系统来了十个经验丰富的工程师。加上明远派来的张维、李静文等八个人,总共五十九人。
研究院的地址选在北京北郊一个废弃的雷达厂。厂房很大,但很破旧。王恪自掏腰包,投了三百万美元进行改造:建超净车间,买基础设备,配办公设施。
掛牌那天,宋健主任亲自来了。他在讲话中说:“这是產学研结合的新探索。企业出资金、出需求,科研院所出人才、出技术,国家出政策、出平台。希望你们能走出一条新路。”
仪式结束后,王恪带大家参观还在改造中的厂房。
张维看著那些生锈的工具机和破旧的管道,苦笑:“王总,这条件……比绵阳还差。”
“条件差,但自由。”王恪说,“这里没有条条框框,没有论资排辈,只有一件事:把光刻机做出来。”
他走到厂房中央,那里已经清理出一片空地:“这里將来是超净车间,级別1000。旁边是装配车间,那边是测试车间。宿舍在后面的楼里,条件一般,但保证每人一个单间。食堂请的是部队的厨师,伙食不会差。”
他转身看著这五十九张面孔,有年轻的,有年老的,有兴奋的,有怀疑的。
“我知道大家心里都在想:这事能成吗?”王恪的声音在空旷的厂房里迴荡,“说实话,我也不知道。光刻机太难了,全世界只有少数几家公司能做。我们缺经验,缺设备,缺工艺积累。但我们有一样东西,是那些公司没有的。”
他顿了顿:“我们有必须做成的决心。因为如果我们不做,中国的晶片產业就永远受制於人,永远要在別人画的圈子里跳舞。这个决心,就是我们的最大优势。”
厂房里很安静,只有风声从破窗户吹进来。
老所长第一个鼓掌。接著,所有人都鼓起掌来。
不是热烈的掌声,是那种沉稳的、坚定的掌声。
研究开始了。
双工件台研究室最先动手。他们用现有的工具机加工了一个简化版的工件台——精度只有微米级,距离纳米级差三个数量级。但至少有了实物。
照明系统研究室从最简单的汞灯光源开始,研究如何提高均匀性,如何控制波段。他们做了几十个实验,失败了大半。
控制系统研究室最年轻,平均年龄三十岁,都是软体和自动控制专业的研究生。他们从零开始写控制程序,一遍遍调试,一遍遍修改。
王恪每天在各个研究室之间穿梭。他不直接给答案,而是引导大家思考:为什么这个参数要设成这个值?为什么那个结构要这样设计?失败了,他问:失败的原因可能有哪些?下次怎么避免?
有时候,他会“不经意”地提一句:“我好像在某个文献里看到过,这个问题可以用某某方法解决。”然后大家去查,果然能找到相关思路。
知识就这样一点点“渗透”。不是灌输,是启发。
三个月后,第一个小突破出现了。
双工件台研究室做出了一个定位精度达到100纳米(0.1微米)的简易工件台。虽然离目標(10纳米)还很远,但已经是国內现有水平的十倍。
那天晚上,研究团队在食堂加餐庆祝。老所长喝了一点酒,脸红红的:“我干了四十年光学,今天第一次觉得……我们可能真的能做到。”
年轻的工程师们更激动:“才三个月就进步这么大!再给我们三年,一定能做到10纳米!”
王恪看著这些兴奋的面孔,心里很暖。他知道,最难的不是技术,是建立信心。现在,信心有了。
但他也清楚,前面的路还很长。100纳米到10纳米,看似只差一个数量级,但难度是指数级增长的。照明系统、物镜系统、控制系统……每一个都是硬骨头。
夜深了,王恪独自走到厂房外。秋天的北京很凉,星空很亮。
系统界面在眼前展开。情绪点又开始增长——来自研究团队的希望、成就感、集体奋斗的激情。
但王恪关掉了界面。
他知道,有些东西,无法用点数衡量。
比如今晚食堂里那些发自內心的笑容。
比如那些贴在实验室墙上的进度表——虽然离目標还很远,但每一天都在前进。
比如那个简易工件台,虽然粗糙,但它是中国自己设计、自己加工、自己调试出来的。
这就够了。
真的够了。
星光下,王恪看著远处的山影。
他想,也许很多年后,当中国的光刻机真正追赶上世界先进水平时,人们会记得这个秋天的夜晚,记得这个破旧的厂房,记得这群相信“可能”的人。
而他要做的,就是守护这份“可能”,让它慢慢变成“现实”。
直到那一天到来。
厂房里,还有几个实验室亮著灯。
那些灯光很微弱,但在漆黑的夜里,很亮。
像星星。
而星星多了,就能照亮整个夜空。
王恪相信,这一天,不会太远。