听到高凡的问题,徐云也只能把心里那些杂念抛开,认真地答道:“我们现在研究的重点,就是g线光刻胶,这也是目前应用最广泛的。
时下,g线光源还是集成电路制造中使用的主流光源。i线光源光刻机已经问世,但还没有得到大规模推广。至于krf,实验室概念已经提出来了,真正投入使用,还得是十年后的事情。
“你说i线光刻胶的条件不成熟,是指什么?”高凡问道。
光刻技术,按照使用的光源不同,可以分为许多类,或者称为不同代际也可以。
光刻胶中感光剂的选择,与光源是密切相关的,这涉及到化合物在不同波长光线作用下的变化,机理十分复杂。
90年代之后,出现了使用准分子激光器的248纳米、193纳米和157纳米光源,分别称为krf、arf和f2光源,属于深紫外光源。
再至于被誉为“皇冠上的明珠”的euv光刻机,使用的是13.3纳米的极紫外光源,它的出现时间已经要算到2010年之后了。
“我想跟你说的,就是这个。”高凡说,“对了,徐师兄,摩尔定律你听说过没有?”
光刻的原理,与冲洗照片是一样的。首先,要把电路图制作成底片,称为掩膜。光源通过掩膜照射在涂了光刻胶的芯片基材上。
80年代,光源进化为采用高压放电汞灯产生的436纳米和365纳米光源,前者称为g线光源,后者称为i线光源,都属于近紫外光源。
徐云道:“不是我说的,而是毕主任说的。现在国内根本就没有使用i线光源的光刻机,国外也不多,研究i线光刻胶,是不是有些操之过急了?”
摩尔定律是1965年提出的,不过直到70年代中期才受到人们的重视。随着集成电路技术的迅猛发展,摩尔定律一再得到印证,一时间在西方科技界和产业界倍受推崇。
“当然听说过。”徐云不忿地说,“不就是集成电路上的晶体管数量,每两年就增加一倍吗?我们好几个老师上课的时候都提过。”
“不愧是科大,思维很前卫。”高凡翘个大拇指,赞了一句,却换来了徐云一个白眼。
徐云说他有好几位老师上课时候都提过摩尔定律,高凡自然是要表示钦佩的。只是以他的身份,摆出这样一副嘴脸来夸奖中科大,徐云怎么能不对他表示一番鄙夷。
“既然你知道摩尔定律,那么你想想看,芯片制造技术将会以什么样的速度发展?g线光刻机肯定很快就会落伍,下一代i线光刻机会迅速普及。不出十年,市场主流就会是krf光刻机。”高凡侃侃而谈。
徐云在心里默想了一下,点点头道:“你说得有理,不过,这也是国际市场的潮流吧?咱们国内现在连g线光刻机都没能掌握,你说的krf,怎么也得是20年以后的事情了。”
“我们为什么就不能瞄准国际市场呢?”高凡看着徐云,“造光刻机,需要高精密机床,咱们一时造不出来。可是光刻胶的技术没多高的门槛,咱们为什么不能提前一步占领这个市场呢?”